강원특별자치도는 11월 19일(수) 오후 2시 원주 부론일반산업단지에서 ‘반도체 소모품 실증센터’ 착공식을 개최했다.
❍ 착공식에는 김진태 도지사를 비롯해 나노종합기술원, 한국표준과학연구원, 한국재료연구원 등 주요 연구기관과 ㈜디에스테크노, ㈜보부하이테크 등 반도체 소모품·장비 기업 관계자들이 참석하여 강원형 테스트베드 구축의 첫걸음을 함께했다.
반도체 소모품 실증센터는 산업통상부, 도, 원주시가 공동 추진하고 강원테크노파크가 수행하는 강원권 k-반도체 테스트베드 구축 사업의 핵심 시설이다.
❍ 총사업비 472.3억 원 중 국비 150억 원, 도비 125억 원, 시비 152.3억 원이 투입되며, 2027년 준공을 목표로 하고 있다.
❍ 센터는 지상 3층, 연면적 2,562㎡ 규모의 2개 동(Fab동,기업지원동)으로 조성되며, ▲ 클린룸 약175평, ▲ 시제품 시험·분석 장비 7종 ▲ 공정안정성 검증 장비(식각,증착) 3종 등 총 10종의 핵심장비를 갖춰 반도체 장비를 구성하는 세라믹* 등 소모성 부품의 기초 성능 검증과 생산단계의 공정 안정성 검증을 한 곳에서 수행하는 ‘통합(One-Stop) 실증 테스트 베드’ 기능을 수행할 예정이다.
* 세라믹은 소모품 신뢰성 검증 수요 급증으로 열과, 전기 화학 반응에 강한 특성 덕분에 고온‧고진공 공정장비 핵심 구성 소재
센터가 완공되면 , 기존 시편(시험 조각) 단위의 분석을 넘어 반도체 소모품 테스트용 300㎜급 양산장비와 클린룸 인프라를 바탕으로 실제 반도체 제조라인과 동일한 수준의 실증검증 환경을 갖추게 된다.
❍ 이를 통해 도내 ‘생산 → 검증 → 양산’으로 이어지는 반도체 소모품 전주기* 산업생태계가 구축될 것으로 기대된다.
* 기존 세라믹 소재부품과 연계한 실증지원 전주기지원: 시생산(강릉) ➞ 성능검증(원주 반도체 소모품 실증센터) ➞ 시장진입
❍ 또한, 지난 4월 착공한 원주 한국반도체교육원과 연계해 특화·심화형 전문인력 양성 프로그램을 운영함으로써 산·학·연 협력 기반의 혁신 생태계를 강화할 예정이다.
김진태 도지사는 “반도체 소모품은 반도체를 만드는 데 반드시 필요한 필수 품목으로 나노 종합기술원에서는 시험 인증까지 해주실 예정”이라 전하며, “국내 많은 반도체 기업들이 인증을 받기 위해 원주를 찾게 될 것”이라고 덧붙였다.
이어, “이 사업은 원주시와 도가 함께 머리를 맞대어 산업부에 제안했으며, 치열한 경쟁을 뚫고 전국 공모에서 성공을 거둔 결과”라며, “미래차 검증센터와 함께 두 사업을 쌍두마차로 강원도 반도체 생태계를 구축해 나가겠다”고 강조했다.